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鍍膜上下料設備

多年來,二所立足自主裝備,與產業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術系統(tǒng)集成的能力。

關鍵詞:

服務熱線:

  • 產品描述
  • 詳細參數(shù)
  • 用于光伏電池鍍膜工序。將經過管式PECVD工藝處理后的石墨舟內的硅片自動化取出裝籃,并將沒經過工藝處理的硅片自動化裝入石墨舟。降低人工強度及碎片率,減少人工接觸硅片,有效提升成品率和轉換率。

  • 設備兼容:18X±0.5mm*18X±0.5mm230±0.5mm*230±0.5mm;單晶硅片,方片/準方片/矩形片;

    基于硅片尺寸182*182182*192單臺產能:≥8000 Pcs/H

    基于硅片尺寸182*193182*21X單臺產能:7800 Pcs/H

    基于硅片尺寸2X0*2X0單臺產能:6800 Pcs/H

    基于硅片尺寸182*182182*192碎片率:≤0.02%(不含爐碎);

    基于硅片尺寸182*193182*21X碎片率:≤0.03%(不含爐碎);

    基于硅片尺寸2X0*2X0碎片率:≤0.03%(不包含爐碎)。

    自動化導致的返工率要求:0.03%

    設備外形尺寸(長**高):不超過12.8m*2.6m*3m。

    機器人吸盤模組單片之間精度:0.001mm

    整機精度:0.025mm

    品質要求:吸盤印、劃傷、崩邊、皮帶印、石墨舟擦傷、舟印、隱裂或因傳輸不穩(wěn)定造成的異常不良等不良片,單工序總不良率低于:≤0.03%

    吸盤片材質選用較輕的碳纖維,相對于鋁合金少1Kg,機器人運行更快、更穩(wěn);

    吸附組通過激光測距傳感器檢測校準,具有超高精度

中國電子科技集團公司第二研究所成立于1962年,是我國以智能制造、微電子裝備及應用、碳化硅裝備及應用、新能源裝備及應用等產品研發(fā)生產的骨干單位。多年來,二所立足自主裝備,與產業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術系統(tǒng)集成的能力。

 

二所是科技部“國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心(山西)”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點示范”、國防科工局“軍用微組裝技術創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導體制備重點實驗室”、山西省“微組裝工程技術研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來,獲得國家、省部級獎項11項。

 

站在新的歷史起點,二所將以人工智能和半導體技術為核心,強化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應用為主的產業(yè)鏈,實施智能制造、微電子、SiC和新能源產業(yè)躍升計劃,不斷提升核心競爭力和盈利能力,形成良好可持續(xù)的高質量發(fā)展態(tài)勢。

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